быстрая термообработка

 

быстрая термообработка
Общий термин, описывающий такой тип процесса, при котором температура подложки быстро увеличивается за счет лучистого нагрева кварцевыми галогенными лампами высокой мощности. Процесс, требующий малого количества тепловой энергии, и эффективный в некоторых случаях обработки полупроводящих устройств, в которых необходимо воздействие высокой температуры, но нежелательна передача подложке большого количества тепла.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• RTP
• rapid thermal processing